ZAO靶材（超高密度） 靶材
| 种类 | 靶材 | 特性 | 透明、导电、吸收紫外线及红外反射 |
| 用途 | 薄膜太阳能电池的电极，透明导电玻璃与柔性膜，等离子显示，红外反射与防护等 |
zao靶材
主要技术指标：
*化学成分：98wt.% zno, 2wt.%al2o3或按用户需要提供；
*纯度：3n或4n；
*相对密度：≥99.5%；
实测密度≥5.60g/cm3
*靶材电阻率：5×10—4ω·cm(表面电阻由于机加工等原因会明显高于此值)；
*膜电阻率：采用射频磁控溅射，基片加热温度220℃，在工艺条件下：2.17×10—4ω·cm；基片加热温度450℃，在工艺条件下：9.06×10—5ω·cm
*目前能提供的Zui大尺寸：400mm×200mm×9mm。
zgo靶材
主要技术指标：
*化学成分：95wt.% zno, 5wt.%ga2o3或按用户需要提供；
*纯度：3n或4n
*相对密度：≥99.5%
*靶材电阻率：3.5×10—4ω·cm(表面电阻由于机加工等原因会明显高于此值)。
*目前能提供的Zui大尺寸：400mm×200mm×9mm
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