azo圆筒靶材

主要技术指标：

*化学成分：98wt.% zno, 2wt.%al2o3或按用户需要提供；

*纯度：3n或4n；

*相对密度：≥99%；

*靶材电阻率：5×10—4ω·cm(表面电阻由于机加工等原因会明显高于此值)；

*膜电阻率：采用射频磁控溅射，基片加热温度220℃，在工艺条件下：2.17×10—4ω·cm；基片加热温度450℃，在工艺条件下：9.06×10—5ω·cm

*尺寸：内径100-150mm，外径140-180mm，高150-250mm;

gzo圆筒靶材

主要技术指标：

*化学成分：95wt.% zno, 5wt.%ga2o3或按用户需要提供；

*纯度：3n或4n

*相对密度：≥99.5%或≥98%

*靶材电阻率：3.5×10—4ω·cm(表面电阻由于机加工等原因会明显高于此值)。

*尺寸：内径100-150mm,外经150-200mm，高150-250mm。