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AZO靶材 靶材

更新时间:2010-01-01 00:00:00
价格:请来电询价
种类:靶材
特性:透明、导电、吸收紫外线及红外反射
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详细介绍
种类靶材特性透明、导电、吸收紫外线及红外反射
用途薄膜太阳能电池的电极,透明导电玻璃与柔性膜,等离子显示,红外反射与防护等

azo靶材

主要技术指标:

*化学成分:98wt.% zno, 2wt.%al2o3或按用户需要提供;

*纯度:3n或4n;

*相对密度:≥99.5%;

实测密度≥5.60g/cm3

*靶材电阻率:5×10—4ω·cm(表面电阻由于机加工等原因会明显高于此值);

*膜电阻率:采用射频磁控溅射,基片加热温度220℃,在工艺条件下:2.17×10—4ω·cm;基片加热温度450℃,在工艺条件下:9.06×10—5ω·cm

*目前能提供的Zui大尺寸:400mm×200mm×9mm。

gzo靶材

主要技术指标:

*化学成分:95wt.% zno, 5wt.%ga2o3或按用户需要提供;

*纯度:3n或4n

*相对密度:≥99.5%

*靶材电阻率:3.5×10—4ω·cm(表面电阻由于机加工等原因会明显高于此值)。

*目前能提供的Zui大尺寸:400mm×200mm×9mm

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