AZO靶材靶材

更新时间：2010-01-01 00:00:00

价格：请来电询价

种类:靶材

特性:透明、导电、吸收紫外线及红外反射

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详细介绍

种类	靶材	特性	透明、导电、吸收紫外线及红外反射
用途	薄膜太阳能电池的电极，透明导电玻璃与柔性膜，等离子显示，红外反射与防护等

azo靶材

主要技术指标：

*化学成分：98wt.% zno, 2wt.%al2o3或按用户需要提供；

*纯度：3n或4n；

*相对密度：≥99.5%；

实测密度≥5.60g/cm3

*靶材电阻率：5×10—4ω·cm(表面电阻由于机加工等原因会明显高于此值)；

*膜电阻率：采用射频磁控溅射，基片加热温度220℃，在工艺条件下：2.17×10—4ω·cm；基片加热温度450℃，在工艺条件下：9.06×10—5ω·cm

*目前能提供的Zui大尺寸：400mm×200mm×9mm。

gzo靶材

主要技术指标：

*化学成分：95wt.% zno, 5wt.%ga2o3或按用户需要提供；

*纯度：3n或4n

*相对密度：≥99.5%

*靶材电阻率：3.5×10—4ω·cm(表面电阻由于机加工等原因会明显高于此值)。

*目前能提供的Zui大尺寸：400mm×200mm×9mm

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